レーザマイクロマシニング装置
高精度、高解像度のコンパクトなレーザマイクロマシニングシステムです。
単一のモノリシック素子での直接レーザマイクロ加工に必要なすべてのデバイスが含まれています。
レーザマイクロマシニング装置加工例
レーザマイクロマシニング装置仕様
| 仕様 | ||||
モデル |
MicroMake532 |
MicroMake+532 |
MicroMake266 |
MicroMake+266 |
波長 |
532nm |
532nm |
266 nm |
266nm |
レンズ倍率 |
10x |
10x |
10x |
10x |
ワーキングディスタンス |
39mm |
39mm |
20mm |
20mm |
空間分解能 |
4.5um |
5um |
2.2um |
2.5um |
プロセスエリア |
1x1mm |
1x1mm |
1x1mm |
1x1mm |
周波数 |
1kHz |
10-100kHz |
0.8kHz |
10-100kHz |
最大ピークパワー |
10kW |
35kW |
0.8kW |
5kW |
プロセススピード（Typ) |
最大5mm/s |
最大100mm/s |
最大1mm/s |
最大40mm/s |
冷却 |
空冷 |
空冷 |
空冷 |
空冷 |
寸法 |
350x160x90mm |
350x240x110mm |
370x160x90mm |
370x240x110mm |
