エキシマレーザ

 

エキシマレーザは193nm（ArF）、248nm（KrF）、308nm（XeCl）、351nm（XeF）などの紫外線を発生します。波長が短く、非常に微細な加工が可能なレーザ発振器です。
エキシマレーザは照射された材料に熱を加えずに加工を行うことができ、周囲の材料への熱的ダメージを最小限に抑えられます。
これらの利点をいかし、微細加工を始め、薄膜生成、ファイバーブラッググレーティング、近視治療（レーシック）をはじめとする様々な医療用途、フォトルミネッセンスなどの様々な用途で利用されています。