マイクロスポットモニター

 

 

独国PRIMES社のマイクロスポットモニターは最小20umまで集光されたレーザのビームプロファイル、ビームサイズ、ビームポジション、レイリー長、M2などの計測を可能にする測定器です。基本波(1um)の他、２倍波(532um)、３倍波(355nm)、４倍波(266nm)の波長に対応し、最大200Wまでのレーザ光測定が可能です。

 

 

マイクロスポットモニタはカメラベースのビームプロファイラです。一般的なカメラ型ビームプロファイラの場合、高出力レーザや集光ビームの計測をするためにユーザが光学系を構築しなければなりませんが、マイクロスポットモニタは、減衰機や結像光学系を内蔵したカメラベースのビームプロファイラで、比較的高出力レーザであっても計測が可能です。
また、マイクロスポットモニタの光学系はZ軸ステージ上に搭載されているため、集光ビームの光軸方向に動きながらビーム計測を行うことができます。これによりM2やBPP、集光角などのパラメータ計測を行うことも可能となります。

 

 

フォーカスモニタは計測できるビーム径がΦ100umまでであるため、シングルモードレーザの集光ビーム計測には不向きです。一方でマイクロスポットモニタの場合、最小ビーム径がΦ20umと小さく、シングルモードでも計測が可能です。
また、フォーカスモニタはピンホールでの計測となるため、パルスレーザの計測ができませんが、マイクロスポットモニタの場合はカメラベースであるためパルスレーザの計測も可能となります。