マイクロスポットモニター（Micro Spot Monitor）
独国PRIMES社のマイクロスポットモニターは最小20umまで集光されたレーザのビームプロファイル、ビームサイズ、ビームポジション、レイリー長、M2などの計測を可能にする測定器です。基本波(1um)の他、２倍波(532um)、３倍波(355nm)、４倍波(266nm)の波長に対応し、最大200Wまでのレーザ光測定が可能です。
| Micro Spot Monitor MSM | |
| 測定パラメータ | |
パワーレンジ |
1mW-200W |
波長レンジ |
257-272nm
340-360nm |
ビーム寸法 |
20um-1mm |
| 電源 | |
電源 |
24V DC±5%, max1.8A |
| コミニケーション | |
インターフェース |
イーサネット |
| 寸法と重さ | |
長さ |
430mm (コネクタを除く) |
幅 |
202mm |
高さ |
182mm(+35mm 走査範囲, opt. 120mm) |
重さ |
15kg |
| 環境条件 | |
使用温度 |
10～40℃ |
湿度 |
10-80% |
