フォーカスパラメータモニター

フォーカスパラメータモニター(Focus Parameter Monitor)

 

フォーカスパラメータモニタ

FocusParameterMonitorはパワーメータとビームプロファイラが一体となった測定器です。
高出力レーザのパワー、ビーム径、ビーム位置などの測定をすることができます。
PROFINETやPROFIBUSなどのフィールドバスを装備しており、容易なインテグレーションを可能とします。

 

 

フォーカスパラメータモニタの測定原理

フォーカスパラメータモニタは、入射するビームを分岐し、カロリメトリック方式のパワーメータとCCDカメラに導光します。これによりビームプロファイルとパワーを同時に計測することが可能です。

 

 

製造装置へのインテグレーション

フォーカスパラメータモニタはフィールドバスインターフェースを備えており、製造装置の上位機種とのコミュニケーションを行うことができます。生産ラインでのビームプロファイル、パワー計測のツールとして最適です。

 

 

仕様
項目 仕様
パワーレンジ 400-8000W
照射時間 0.3~1s
波長レンジ 1030~1090nm
集光ビーム径 100~1000um
測定サイクルごとのエネルギー 100~3000J
最大ビーム拡散角 60 または 100mrad
最大パワー密度 1MW/cm2(典型値)
アパーチャ部での最大スポット径 2mm
最大フォーカス位置 15mm
電源 24V DC ±5%, max0.5A
圧縮空気 10~15L/分
最小エア圧 1 bar
最大エア圧 2 bar
インターフェース PROFINET, PROFIBUS
寸法 210×153×185mm(長×幅×高)
重量 約10kg
使用温度 10~40℃
湿度 10~80%
プロテクションクラス IP64
カテゴリ III

 

 

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