硬脆材料加工

硬脆材料加工

硬脆材料加工

ガラス、サファイヤ、シリコン、炭化ケイ素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、セラミックスなどは、半導体デバイス、光学部品、精密機械などに応用される非常に便利な材料です。
これらは、硬度が高い一方で、脆性が高くひび割れや欠けが起こりやすく、加工が非常に難しい材料です。
レーザ加工は非接触加工ができるため、これらの加工に適しています。

 

 

こうぜいざいりょう・・・初めて聞いた

 

硬脆材料は身近なところにたくさんあります。例えば皆さんがお持ちのスマートフォンには強化ガラスやサファイヤが画面を保護していますね。

 

便利な材料だけど、硬くて脆いから加工が難しいのね。

 

その通りです。

レーザは硬脆材料加工で期待されています。

 

 

硬脆材料加工におすすめの製品

 

 

 

 
硬脆材料加工におすすめの光学部品

 固定・可変倍率ビームエキスパンダ

入射ビームを拡大するビームエキスパンダです。低価格は倍率固定タイプと、便利な可変倍率タイプをラインナップしています。より小さな集光スポットを得るため、また、デフォーカスしたりレンズを交換したりすることなくスポット径を変えたい場合などに有効な光学部品です。

 テレセン・ノンテレセン fΘレンズ

ガルバノスキャナやポリゴンスキャナなどで等速度走査されたビームを焦点平面上で等速走査させるためのレンズです。テレセントリックは焦点平面上のどの位置にレーザ照射しても小斜面に対して常にレーザ光が垂直に照射される特殊な光学部品です。

 

 ビームシェーパー

ビームシェイパーは入射するレーザ光をトップハット、ドーナッツ、リングなど様々な形状に成形する光学部品です。
溶接や切断、パターニングなどに最適です。
当社では、フィールドマッピングビームシェーパー、ホモジナイザ(レンズアレイ)など様々なビームシェーパーを取り揃えています。

 透明材料加工用マルチフォーカス光学系

本光学部品は光。透明材料内部に複数のスポットを同時生成し加工を行うことができます。焦点間のパワーバランスを制御することができアプリケーションに合わせてビームを最適化することが可能となります。

 

 

 収差補正高NAレンズ

この光学系は透明材料の内部に高NAで集光する際に発生する球面収を広い範囲で補正します。材料の屈折率や集光深さによりダイヤルを調整することできます。

 

 

 

 集光/拡散レンズ

様々な波長に対応した集光レンズを、様々な焦点距離、直径、材料で取り揃えています。一般的な平凸レンズから、両凸、メニスカス、非球面と幅広く取り扱っています。

 

 ミラー

共振器用ミラー、折り返しミラーを様々な波長、材質、直径で取り揃えています。冷却機能の付いたハウジング付きでのご提供も可能です。

 

 高ダメージ閾値UVレーザ用ミラー

適切な材料を適切に研磨し、残差を取り除いたうえで高耐力のミラーコーティングを施すことにより、高いダメージ閾値を実現しているミラーです。UVレーザ用のミラーは消耗が激しいため、本製品がおすすめです。

 ビームコンバイナ・スプリッタ

波長合成、波長分岐ができるミラーや、パワー分岐するミラーをご紹介しています。

 

 

 レーザ保護ガラス

様々な波長、厚さに対応した様々な材質、直径、厚さの保護ガラスを格安でご提供しています。

 

 S波長板

直線偏光をラジアル、アジムス偏光へ変換する素子です。

 

 

 ベッセルビームジェネレータ

円形格子(別名:フラットアキシコン)はガウスビームをベッセルガウスビームに変換します。

 

 

 
硬脆材料加工におすすめのレーザ発振器

 高出力フェムト秒レーザ

IR、SHG、THGのファイバレーザベースのフェムト秒レーザです。高出力でありながら低価格でご提供します。

 高出力ピコ秒レーザ

IR、SHG、THGのファイバレーザベースの彦秒レーザです。高出力でありながら低価格でご提供します。

 ピコ秒基本波レーザ

ピコ秒パルスの基本はファイバレーザです。ファイバレーザベースのため、非常に高品質でメンテナンス性に優れたレーザです。

 ピコ秒SHGレーザ

ピコ秒パルスのSHGレーザです。ファイバレーザベースのため、非常に高品質でメンテナンス性に優れたレーザです。

 サブナノ秒THG固体レーザ

サブナノ秒パルスの3倍波固体レーザ(355nm)です。幅広いラインナップを取り揃えております。

 サブナノ秒FHG固体レーザ

サブナノ秒パルスの4倍波固体レーザ(266nm)です。幅広いラインナップを取り揃えております

 エキシマレーザ

コンパクトなエキシマレーザです。ArF(193nm)、KrF(248nm)、XeCl(308nm)、XeF(351nm)のラインナップがございます。

 

 

 
硬脆材料加工におすすめの加工ヘッド/デリバリ

 超高速ガルバノスキャナ

超高速制御が可能なガルバノヘッドです。Φ10~50mmに対応した製品をラインナップしており、最大12kWのレーザで使用できます。

 ヘリカルヘッド

高アスペクト比のレーザ穴加工や、逆テーパー穴加工、超精密切断などのアプリケーションに最適な加工ヘッドです。

 同軸カメラシステム

固定光学系のヘッドやガルバノヘッドに取り付け、同軸で加工点を観察するシステムです。

 十字線発生器

7パターンのレクチルを4パターンの線でモニター上にジェネレートすることができます。

 

 

 
硬脆材料加工におすすめのレーザ計測器

 マイクロスポットモニタ MSM+

マイクロスポットモニターは最小20umまでの集光されたレーザのビームプロファイル、ビームサイズ、ビームポジション、レイリー長、M2などの計測を行います。フォーカスモニタで計測ができないシングルモードレーザの集光特性を評価することができます。

 

 高輝度MSM HP-MSM-HB

高輝度レーザ用マイクロスポットモニターは最大10kWのレーザに対応したカメラベースの集光ビームプロファイラです。MSM+では計測ができない高出力シングルモードレーザの集光特性評価に適しています。

 

 

 

 低価格カメラ型ビームプロファイラ

低価格なカメラ型のビームプロファイラです。ビームスプリッタとNDフィルタが標準装備で、最大50Wのレーザの集光ビーム特性の計測を行うことができます。

 ビームダンパ(アブソーバ)

数kWのレーザ光を終端する各種ビームダンパはレーザビームプロファイル計測時になどに非常に役立ちます。レーザ計測を安全に行う目的で使用されています。

 

 

 
硬脆材料加工におすすめのモニタリング

準備中

 

 

 
硬脆材料加工におすすめのレーザ安全

 レーザ保護メガネ

レーザから大切な目を保護します。可視域の透過率が高く見やすい保護メガネや、視力矯正用メガネの上からかけられるオーバーグラスタイプなど様々な保護メガネを取り揃えています。

 

 レーザカーテン

レーザカーテンはレーザ区域からレーザ光を遮断するために使用されます。当社ではお客様ごとに異なるサイズのレーザ区域に対応するため、フレームの設計から承っております。

 

 レーザ保護ウインドウ

レーザ保護ウインドウはレーザ区域からレーザ光を遮断するために使用されます。可視域の透過させますので、のぞき窓としてご利用いただけます。全製品がCEマーク取得です。

 

 レーザ被ばく放出クラスチェッカー

レーザ被ばく放出クラスチェッカーはレーザ機器からの漏れ光がJISのクラス1基準を満たすかどうかをチェックするツールです。

 

 

 IRビューワ/IRセンサ

目に見えない近赤外の光を可視化するツールです。

 

 

 

 集塵機

レーザ加工時に発生するヒュームや塵、有害なガスを吸い取ります。オペレータの健康被害を防ぐだけでなく、安定したレーザ加工にも重要な役割を果たします。

 

 

 

 
硬脆材料加工におすすめのアクセサリ

 ビームシェーパーマウント

ビームシェーパーの固定に適した4軸調整機構付きマウントです。

 

 産業用ビームシェーパーマウント

ビームシェーパーの調整、固定に最適な4軸調整機構付きマウントです。ロック機構があり、安定的にご使用いただけます。

 アライメントツール

光軸調整に非常に便利なツールです。

 

 チラー

低価格・高性能のチラーです。