
レーザ発振器のビーム品質が向上したことで、ガルバノスキャナやポリゴンスキャナなど、焦点距離の長い光学ヘッドを使っても小さなスポット径を得ることができるようになりました。この加工方法は非常に速いビーム操作が可能で、レーザ加工をはじめ様々な分野で広く使われています。
fθレンズ、テレセントリックレンズはガルバノスキャナやポリゴンスキャナなどと一緒に使用し、レーザの走査に使うレンズです。2枚のレンズ面の曲率をかえることにより、レンズ周辺部と中心部で走査速度が一定になるように設計されています。
一般のレンズの場合、走査ビームが角度θのとき、像の大きさはY=f・tanθの関係になりますが、fθレンズの場合、Y=f・θの像を結びます。
fθレンズを使用すると、レーザを走査させた際、一つの平面上に焦点を置くことができるため、走査エリア内で均一のビーム径でレーザ加工などを行うことができます。
なるほど、スキャナ光学系を使うと、スキャニングエリアの真ん中と端ではレンズからの距離が違うから普通のレンズだとスポットサイズが変わってしまうってことか
その通りです。
このレンズを使うことで平面内に集光ビームを配置することができるので、より均一な加工/マーキングを行うことができます。

fθレンズは主光線がレンズの光軸に対して様々な角度を持ちますが、テレセントリックレンズを使用すると、主光線とレンズ光軸を平行にすることができます。これにより集光ビームは楕円にならず、より品質の高いレーザ加工を行うことができます。また、角度依存性のある対象物(例えば入射角度によりレーザの吸収率が大きく異なる)の加工を行う際には有効な光学系です。
普通のfΘレンズだと、スキャニングエリアの真ん中以外は、ワークに対してビームが斜め入射してしまうから、それを垂直にするのがテレセントリックfΘレンズってことね
その通りです。
材料によってはレーザの入射角度により吸収率が変わるものがあります。こういった材料をエリア内のどこでも同じように加工するためにはテレセントリックfΘレンズが必要です。
また、普通のfΘレンズですと、エリアの端ではビームが楕円形状になりますが、テレセントリックfΘレンズだと真円に近いビームが得られますよ。

型番 EFL※ エリア スポット径 入射ビーム径 入射角 BFL※2 (mm) (mm) (um) (mm) (度) (mm) SL1-10.6/9.4-F50-25.4 50 12x12 53 12 10 50.8 SL1-10.6/9.4-35-52Z1 52 35x35 67 10 30 52.7 SL1-10.6/9.4-F52Z-40 52 31x31 67 10 25 52.7 SL1-10.6/9.4-F75Z-48 75 50x50 97 10 28 75.9 SL1-10.6/9.4-F100Z-48B 100 66x66 210.5 12 28 101.1 SL1-10.6/9.4-F100Z-48A 100 70x70 106.7 12 29 102.8 SL1-10.6/9.4-F100Z-48 100 69x69 107.4 12 28 100.9 SL1-10.6/9.4-F100Z-40 100 60x60 129 10 25 100.9 SL1-10.6/9.4-F120Z-44 120 75x75 154.6 10 25 124 SL1-10.6/9.4-F150Z-48 150 107x107 161 12 29 152.7 SL1-10.6/9.4-F150Z-40 150 90x90 193.4 10 25 152.7 SL1-10.6/9.4-F200Z-48 200 140x140 171 15 28 204.3 SL1-10.6/9.4-F200Z-70 200 140x140 160 16 28 208.8 SL1-10.6/9.4-F250Z-48 250 175x175 214 15 28 256 SL1-10.6/9.4-F250Z-65 250 175x175 180 20 28 253.4 SL1-10.6/9.4-F300Z-48 300 210x210 322 12 28 308.6 SL1-10.6/9.4-F300Z-48B 300 215x215 322 12 28 307.7 SL1-10.6/9.4-F360Z-48 359.1 250x250 385 12 28 369.2 SL1-10.6/9.4-F420Z-75 420 300x300 268 20 28 430 SL1-10.6/9.4-F420Z-70 420 295x295 268 20 28 430 SL1-10.6/9.4-F435Z-48 433 300x300 463.5 12 28 444 SL1-10.6/9.4-F450Z-48 448.5 320x320 478 12 28 462 SL1-10.6/9.4-F480Z-48 480 335x335 515 12 28 492 SL1-10.6/9.4-F480Z-70 480 350x350 305 20 28 496.3 SL1-10.6/9.4-F550-60 561 400x400 360 20 28 561 SL1-10.6/9.4-F573Z-62 573 365x365 364 20 25 591 SL1-10.6/9.4-F573Z-48 573 415x415 614 12 28 591 SL1-10.6/9.4-F574Z-75 574 400x400 364 20 28 591 SL1-10.6/9.4-F620Z-70 620 450x450 396.4 20 28 636 SL1-10.6/9.4-F720Z-75 720 500x500 454.6 20 28 741 SL1-10.6/9.4-F720Z-48 720.7 531x531 783 12 28 741 SL1-10.6/9.4-F740Z-88 740 540x540 476.3 20 28 759 SL1-10.6/9.4-F830Z-75 830 600x600 532.4 20 28 848 SL1-10.6/9.4-F977Z-48 976 715x715 1576.5 12 28 990.5 SL1-10.6/9.4-F1100Z-76 1100 700x700 558.7 25 25 1138 SL1-10.6/9.4-F1150Z-48 1150 800x800 1231 12 28 1177 SL1-10.6/9.4-F1191Z-48 1191.6 770x770 1276 12 25 1220 SL1-10.6/9.4-F2122Z-48 2128 1385x1385 2283 12 25 2176仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 ミラー間距離 入射角 WD (mm) (mm) (um) (mm) (度) (mm) SL2-9.3-90-165 165 90x90 20 25.6 20 196 SL2-9.4-70-100ZR 100 70x70 14 20 28.5 105.6 SL2-9.4-50-100ZW-D20 100 50x50 20 26.4 20.6 125.84 SL2-9.4-140-200ZR 200 140x140 15 20 28 219 SL2-10.6-35-60GR 60.5 35x35 12 17 25 57.8 SL2-10.6-50-80GR 80 50x50 14 20 25 75.7 SL2-10.6-70-122GR 122 70x70 14 20 23 135.9 SL2-10.6-110-150ZR 150 105x105 14 20 28 161.7 SL2-10.6-110-170GR 170 110x110 10 13 23 185.1 SL2-10.6-F200ZR 200 140x140 14 16 28.8 229.4 SL2-10.6-140-220GR 220 115x115 14 16 25 243.8 SL2-10.6-F250ZR 250 175x175 14 20 28.4 286.1 SL2-10.6-175-275GR 275 170x170 10 14 22 302.8 SL2-10.6-210-300GR 300 210x210 14 20 28 334.9 SL2-10.6-F300ZR-20 300 170x170 20 20 28 328.3 SL2-10.6-250-360Z 360 250x250 14 20 20 393 SL2-10.6-250-360GR 360 250x250 15 16 27.5 396.7 SL2-10.6-F420G-20 420 300x300 20 30 20 470 SL2-10.6-300-420GR 420 300x300 11.8 20 28 463.2 SL2-10.6-300-420AZR 420 304.8x304.8 20 20 28 466 SL2-10.6-350-485G 485 350x350 14 20 20 528 SL2-10.6-350-490Z 490 350x350 18 25.7 27.7 535.2 SL2-10.6-F560ZR-30 560 400x400 30 25 28.3 604.4 SL2-10.6-F700Z-30 700 500x500 30 30 19.6 763.7仕様表を表示する
型番 波長 EFL※ エリア 入射ビーム径 スポット径 WD (um) (mm) (mm) (mm) (um) (mm) SL3-10.6-50-80 10.6 80 50x50 14 80.6 88 SL3-9.4-50-80 9.4 80 50x50 14 80.6 89.4 SL3-9.4-50-80W 9.4 80 50x50 14 82 92 SL3-9.4-60-105 9.4 105 60x60 12 108 130.6仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-HF-70-100Q 100 70x70 10 97 120.45 M85x1 SL-HF-50-100Q 100 50x50 15 130.5 131 M85x1 SL-HF-112-160Q 160 112x112 10 52.5 191 M85x1 SL-1064-94-163Q-V2 163 94x94 20 111.4 204.7 M85x1 SL-HF-112-163 163 112x112 10 79.5 203.7 M79x1 SL-HF-175-254 254 175x175 10 58.68 304.18 M85x1 FTL 1064 254 20D 254 123x123 20 327 M85x1 FTL 1064 254 30D 254 123x123 30 30 M85x1 SL-HF-142-277 277 142x142 15 66.1 347.5 M85x1 FTL 1080 306 W130 306 160x160 28 376 M110x1 FTL 1064 330 240 330 165x165 30 411.9 M85x1 SL-1064-215-340Q 340 215x215 20 174.6 203.82 M85x1 SL-HF-280-420 420 280x280 14 66.6 506.3 M85x1 FTL 1064 420 420 200x200 30 523 M85x1 SL-HF-320-450Q 450 320x320 14 56.38 515.9 M85x1 SL-HF-280-500-D30 500 280x280 30 128 618.3 M120x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-1064-40-80-D25 80 40x40 25 90.75 76.98 M85x1 SL-1064-45-80 80 45x45 10 29.2 91.4 M55x1 SL-1064-70-100 100 70x70 14 49.5 98.8 M85x1 SL-1064-80-111.5 111.5 80x80 10 56.7 123 M79x1 SL-1064-65-125 125 65x65 15 54.5 146.6 M85x1 SL-1064-56-125 125 56x56 15 60.76 151.16 M85x1 SL-1064-105-152 152 105x105 10 48 175 M85x1 SL-1064-70-160-D30 160 70x70 30 84.3 172.2 M100x1 SL-1064-50-160 160 50x50 8 27 182.3 M39x1 SL-1064-F160B 160 110x110 12 48.8 182.9 M85x1 SL-1060-94-163Q 163 94x94 10 44 197.1 M85x1 SL-1064-107-163 163 107x107 12 43.2 181.2 M85x1 SL-1064-112-163 163 112x112 10 49 184.9 M85x1 SL-1064-112-163A 163 112x112 14 47 182.1 M85x1 SL-1064-112-163G 163 112x112 10 44 189.9 M79x1 SL-1064-114-163R1 163.3 114x114 15 53.9 184 M85x1 SL-1064-100-165-D25 165 100x100 25 93.7 197.1 M85x1 SL-1064-120-170 170 120x120 20 60.6 195.8 M85x1 SL-1064-152-192 192 152x152 15 63 221.8 3.875''-32 SL-1064-90-201-D30 201 90x90 30 82.7 243 M85x1 SL-1064-160-210 210 160x160 10 50 246.2 M85x1 SL-1064-140-210 210 140x140 14 50 238.4 M85x1 SL-1064-175-254 254 175x175 16 61.7 288.9 M85x1 SL-1064-180-254 254 180x180 20 70.7 295 M85x1 SL-1064-F254B 254 175x175 10 50 280 M85x1 SL-1064-100-254-D30 254 100x100 30 66.1 303.3 M85x1 SL-1064-180-260 260 180x180 10 63 297 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-532-74-113Q 113 74x74 6 65.8 140.5 M85x1 SL-532-65-120Q 120 65x65 12 71 156.6 M85x1 SL-532-90-160Q 160 90x90 14 83 209.6 M85x1 SL-532-90-163Q 163 90x90 10 77.2 204.5 M85x1 SL-532-115-165Q 165 115x115 10 77.1 220.6 M85x1 FTL 532 250 233 250 160x160 16 291.6 M85x1 FTL 515 350 350 150x150 30 464 M110x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-532-70-100 100 70x70 14 47.1 100.9 M85x1 SL-532-90-120A 120 80x80 8 38.9 134 M85x1 SL-532-70-160 160 70x70 7 26.5 176.2 M39x1 SL-532-115-165 165 115x115 10 47.01 183.5 M85x1 SL-532-150-254 254 150x150 10 51 280 M85x1 SL-532-225-410 410 225x225 14 48.9 443.7 M85x1 SL-532-335-520 520 355x355 16 57.4 599.2 M102x1/M85x1 SL-532-500-750 750 500x500 16 97 911.2 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-355-60-110Q 110 60x60 6 50.8 137.4 M55x1 SL-355-105-170Q 170 105x105 6 50.9 216.1 M85x1 SL-355-155-250 250 155x155 10 54.9 299.8 M85x1 SL-355-180-295A 294.4 180x180 10 45.3 359 M85x1 SL-355-180-295 295 180x180 10 55.9 362.78 M85x1 SL-355-210-328 328 210x210 10 79.6 406.4 M85x1 SL-355-250-410 407.5 250x250 10 46.8 488.2 M85x1 SL-355-350-580 580 350x350 10 64.6 682.8 M85x1 SL-355-500-815 815 500x500 10 83.2 976.4 M85x1 SL-355-650-1000 1000 650x650 10 91.9 1200.1 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (um) (mm) (mm) (mm) SL-266-70-100 100 70x70 5 59.9 132.9 M85x1 SL-266-100-160 162.3 100x100 5 36.8 198.8 M85x1 SL-266-90-254 254 90x90 4 47 253 M85x1仕様表を表示する
型番 エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-2000-100-160 100x100 10 34.1 179.6 M55x1 SL-2000-175-254 175x175 10 50.6 281.7 M55x1 SL-1550-100-160 100x100 9 47 175.6 M85x1 SL-1550-240-420 240x240 10 53.2 504.3 M85x1 SL-980-808-F161-158 109x109 12 37 186.1/182.8 M85x1 SL-808-53-98 53x53 10 40 108.9 M85x1 SL-808-108-158 108x108 12 43.3 176.4 M85x1 SL-808-103-159 103x103 20 66 187.3 M85x1 SL-808-90-197-D30 90x90 30 83.1 237.4 M85x1 SL-808-115-249-D30 115x115 30 75.5 290 M85x1 SL-808-175-294 175x175 20 78 346.2 M85x1 SL-808-209-400 209x209 20 53 485.93 M85x1 SL-808-250-411-D30 250x250 30 52 468.6 M132x1 SL-808-415-637-D30 415x415 30 48.5 709.5 M110x1 SL-808-450-804-D30 450x450 30 58 876 M102x1 SL-633-40-154 40x40 15 35.2 178.3 M55x1 SL-405-110-175 110x110 6 35.3 209.4 M85x1 SL-405-320-570 320x320 10 60.5 687.9 M85x1 SL-405-380-650 380x380 17 39.8 738.1 M55x1 SL-248-200-221 200x200 10 38.6 303.6 -仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-1064-635-60-100 100 60x60 10 91 79.5 M85x1 SL-1064-635-100-163 163 100x100 12 87.6 157.6 M85x1 SL-1064-635-180-260 260 180x180 15 102.3 261.4 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) SL-1064-532-60-100 100 60x60 10 70 68.7 M85x1 SL-1064-532-100-163 163 100x100 12 78.2 159.7 M85x1 SL-1064-532-175-254 254 175x175 15 101.8 262.8 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (um) (mm) (mm) (mm) SL-940-808-102-163 163 102x102 20 90.5 153.6 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (um) (mm) (mm) (mm) SL-532-635-100-163 163 100x100 10 110.9 121 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (um) (mm) (mm) (mm) SL-355-532-90-170 170 90x90 10 124 125.6 M85x1仕様表を表示する
型番 EFL※ エリア 入射ビーム径 全長 WD 取付ネジ (mm) (mm) (um) (mm) (mm) (mm) SL-355-635-90-170 170 90x90 10 126.2 116.1 M85x1 SL-355-635-110-220 220 110x110 10 115.1 166.3 M85x1 SL-355-635-212-328 328 212x212 6 108.7 265.2 M85x1仕様表を表示する
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD | 波長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (um) | |
| TSL-9.4-50-75 | 75 | 50x50 | 20 | 71.5 | 73.4 | 9.4 |
| TSL-9.4-70-120SPH | 120 | 70x70 | 20 | 82 | 151.2 | 9.4 |
| TSL-9.6-70-140ZA | 140 | 70x70 | 15 | 142 | 124 | 9.6 |
| TSL-10.6-50-100G | 100 | 50x50 | 25 | 93 | 106 | 10.6 |
| TSL-10.6-50-100Z | 100 | 50x50 | 15 | 68.4 | 127.8 | 10.6 |
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | |
| TSL-1030-10-50 | 50 | 10x10 | 8 | 65.8 | 28.9 |
| TSL-1064-18-56 | 56 | 18x18 | 10 | 47.8 | 59.9 |
| TSL-1064-20-82Q | 82 | 20x20 | 15 | 102 | 85 |
| TSL-1064-50-100Q | 100 | 50x50 | 10 | 108 | 126.1 |
| TSL-1064-100-D25 | 100 | 40x40 | 25 | 139.1 | 73 |
| TEL 1064 100 | 100 | 64x64 | 10 | 158 | |
| TEL 1030 103 | 103 | 50x50 | 9 | 143 | |
| TSL-1064-65-115 | 115 | 65x65 | 12 | 98 | 137.1 |
| TEL 1064 160 | 160 | 75x75 | 20 | 209.5 | |
| TSL-1064-73-163B | 163 | 73x73 | 10 | 124 | 193.4 |
| TEL 1064 167 | 167 | 85x85 | 20 | 218 | |
| TSL-1064-90-190 | 190 | 90x90 | 18 | 195.5 | 166.4 |
| TSL-1064-50-210BB | 210 | 50x50 | 25 | 155 | 270 |
| TSL-1064-140-220 | 220 | 140x140 | 15 | 211.7 | 297 |
| TEL 1064 420 326 | 420 | 230x230 | 30 | 647.7 |
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | |
| TSL-532-15-58 | 58 | 15x15 | 10 | 65 | 52.6 |
| TEL 515 70 | 70 | 28x28 | 14 | 82.2 | |
| TSL-532-36-100 | 100 | 36x36 | 16 | 82.4 | 114.7 |
| TSL-532-70-100 | 100 | 70x70 | 10 | 86 | 125.2 |
| TSL-532-60-105 | 105 | 60x60 | 10 | 92.6 | 129.1 |
| TEL 532 110 | 110 | 40x40 | 14 | 149 | |
| TSL-532-75-163A | 163 | 75x75 | 10 | 155.1 | 167.2 |
| TE+ 532 163 | 163 | 80x80 | 10 | 227 | |
| TSL-532-70-200 | 200 | 70x70 | 20 | 103 | 254.8 |
| TSL-532-140-200 | 200 | 140x140 | 10 | 245.5 | 216.9 |
| TEL 532 260 | 260 | 170x170 | 20 | 360 |
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | |
| TSL-355-8-32 | 32 | 8x8 | 10 | 55 | 19.3 |
| TSL-355-18-60 | 60 | 18x18 | 6 | 52.9 | 62.6 |
| TEL 355 70 40 | 70 | 25x25 | 8 | 78 | |
| TSL-355-35-80 | 80 | 35x35 | 6 | 67.1 | 104.5 |
| TSL-355-60-100Q | 100 | 60x60 | 6 | 93.7 | 150.4 |
| TSL-355-50-103 | 103 | 50x50 | 9 | 66.5 | 137.3 |
| TEL 355 1-3 70 | 103 | 50x50 | 9 | 143 | |
| TSL-355-63-109 | 109 | 63x63 | 6 | 87.2 | 151.4 |
| TSL-355-60-115 | 115 | 60x60 | 6 | 97.9 | 154 |
| TEL 355 165 | 165 | 90x90 | 10 | 226 | |
| TSL-355-60-167A | 167 | 60x60 | 10 | 117.8 | 222.6 |
| TEL 355 167 96 | 167 | 68x68 | 10 | 255.8 | |
| TEL 355 167 70 | 167 | 50x50 | 10 | 255.8 | |
| TEL 355 225 167 | 220 | 118x118 | 14 | 280 | |
| TSL-355-86-254 | 254 | 86x86 | 6 | 173.5 | 145 |
| TEL 355/343 254 | 254 | 160x160 | 14 | 348 | |
| TEL 355 265 | 265 | 130x130 | 10 | 353 | |
| TEL 355/343 320 | 320 | 180x180 | 14 | 422 | |
| TEL 343/355 330 | 330 | 200x200 | 14 | 440 | |
| TEL 343-356 325 | 355 | 230x230 | 14 | 497.5 | |
| TSL-355-160-360 | 360 | 160x160 | 10 | 88 | 499.3 |
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | |
| TSL-266-10-30 | 30.1 | 10x10 | 6 | 55.5 | 28.9 |
| TSL-266-20-55 | 55 | 20x20 | 6 | 64.5 | 51.2 |
| TEL 266 70 29 | 70 | 20x20 | 10 | 77.4 | |
| TSL-266-50-100 | 100 | 50x50 | 5 | 101.9 | 135.6 |
| TSL-266-55-158 | 158 | 55x55 | 10 | 133 | 250 |
| TSL-266-80-200 | 200 | 80x80 | 8 | 155.5 | 294.1 |
| 型番 | EFL※ | エリア | 入射ビーム径 | 全長 | WD | 波長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | (um) | |
| TSL-1550-20-55 | 55 | 20x20 | 10 | 62 | 51.3 | 1550 |
| TSL-1550-25-80 | 80 | 25x25 | 10 | 80.2 | 83.9 | 1550 |
| TSL-1550-15-80 | 80 | 15x15 | 12 | 55.2 | 91.9 | 1550 |
| TSL-1550-80-195 | 195 | 80x80 | 15 | 160.5 | 271.6 | 1550 |
| TSL-1330-50-137 | 137 | 50x50 | 11 | 95.4 | 161.5 | 1330 |
| TSL-808-14-56 | 56.3 | 14x14 | 10 | 55.1 | 69.1 | 808 |
| TSL-808-19-77 | 76.8 | 19x19 | 10 | 45 | 103.6 | 808 |
| TSL-808-39-80 | 79.5 | 39x39 | 25 | 83.4 | 79.5 | 808 |
| TSL-808-68-106 | 105.6 | 68x68 | 12 | 85.5 | 135.2 | 808 |
| TSL-808-100-160 | 160 | 100x100 | 10 | 130 | 184.7 | 808 |
| TSL-670-34-88 | 88 | 34x34 | 7 | 55 | 116.3 | 670 |
| TSL-670-77-157 | 157.3 | 77x77 | 10 | 92 | 223 | 670 |
| TSL-633-19-75 | 74.8 | 19x19 | 10 | 45 | 100 | 633 |
| TSL-633-34-87 | 87.5 | 34x34 | 7 | 55 | 115.6 | 633 |
| TSL-633-30-100 | 100.6 | 30x30 | 10 | 108 | 101.2 | 633 |
| TSL-633-75-160 | 160 | 75x75 | 10 | 115.5 | 212 | 633 |
| TSL-633-75-200 | 200 | 75x75 | 20 | 103 | 261.4 | 633 |
| TSL-405-29-55 | 55 | 30x30 | 6 | 61 | 67.2 | 405 |
| 型番 | EFL※(mm) | エリア(mm) | 入射ビーム径(mm) | 全長(mm) | WD(mm) | 波長(nm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TSL-1064-660-60-163 | 163 | 60x60 | 15 | 158.3 | 108.9 | 1064/660 |
| TSL-355-635-50-120 | 120 | 50x50 | 6 | 99.5 | 85.4 | 355/635 |
| TSL-532-635-50-120A | 120 | 50x50 | 15 | 194.1 | 52 | 532/635 |
| TSL-532-635-60-150A | 150 | 60x60 | 15 | 193.6 | 79.5 | 532/635 |
fΘレンズによってマウントが違うようだから、使うスキャナのマウントと合わない場合はアダプタが必要になるね
はい、アダプタは必要ですが、単純にマウントのねじサイズを合わせれば良いということではありません。fΘレンズが設計性能を発揮するためには、レンズとミラーの距離が重要です。
え?マウントのねじサイズだけ合わせればOKってわけじゃないのね。
どんなことに注意してアダプタを作ればいいの?
まずはガルバノスキャナとfΘレンズの位置を確認しましょう。
fΘレンズの図面にスキャナとレンズの位置関係推奨値が書かれていますよ。
第一ミラーと台にミラーの位置が記載されていますが、ご使用されているガルバノの第一ミラーと第二ミラーの距離は必ずしもfΘレンズの設計値と同じではないと思いますので、その場合は、レンズ図面から、レンズと第一ミラーと第二ミラーの中間地点の距離を求めてください。
あとはどうするの?
入射瞳位置(Aperture Stop)が2枚のミラーの中間にくるように設置すればOKです。
ミラー間距離が設計値と実際で異なるから仕様が変わってくるのかしら?
その通りです。そのため、fΘレンズの仕様に書かれている数値はあくまでも目安としてお考え下さい。ご使用のガルバノスキャナにおける仕様が気になる場合はお問い合わせください。
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