透明材料加工用マルチフォーカスレンズ
透明材料の内部に複数の焦点を生成するマルチフォーカスレンズです。ガラスやサファイヤの切断品質、加工スピードアップに最適です。
集光されるビームはそれぞれが収差補正されており、それぞれの深さにおいて同じサイズのスポット径が得られます。
マルチフォーカスレンズによるエアブレークダウン
製品ラインナップ
対物レンズタイプNA＝0.38マルチフォーカスレンズ
対物レンズタイプNA＝0.8マルチフォーカスレンズ
スキャナ＋fθレンズ用マルチフォーカスレンズ
対物レンズタイプNA＝0.38マルチフォーカスレンズ
仕様 |
|
ΔF (大気中） |
72um-220um（2焦点） 74um-72um-74um（4焦点） |
ΔF （ガラス） |
110um-338um（2焦点） 114um-110um-114um（4焦点） |
ΔF（サファイア） |
128um-394um（2焦点） 133um-128um-133um（4焦点） |
入射ビーム径 |
12.9mm |
NA |
0.38 |
焦点距離 |
17.0mm |
ワーキングディスタンス |
9.8mm |
波長 |
1020～1100nm 510～550nm ※その他波長も承ります |
2ω（@1064nm in air） |
2.5um |
2ω（@532nm in air） |
1.3um |
許容チルト |
±1° |
最大パルスエネルギー |
25mJ @ 5ns |
マウント |
Cマウント（1"-32 UN 2A） |
直径 |
39mm |
長さ |
39.8mm |
対物レンズタイプNA＝0.8マルチフォーカスレンズ
仕様 |
|
ΔF (大気中） |
15um-47um（2焦点） 16um-15um-16um（4焦点） |
ΔF （ガラス） |
24um-72um（2焦点） 24um-24um-24um（4焦点） |
ΔF（サファイア） |
28um-86um（2焦点） 29um-28um-29um（4焦点） |
入射ビーム径 |
12.9mm |
NA |
0.8 |
焦点距離 |
8.1mm |
ワーキングディスタンス |
1.0mm |
波長 |
1020～1100nm 510～550nm ※その他波長も承ります |
2ω（@1064nm in air） |
1.1um |
2ω（@532nm in air） |
0.6um |
許容チルト |
±1° |
最大パルスエネルギー |
25mJ @ 5ns |
マウント |
Cマウント（1"-32 UN 2A） |
直径 |
39mm |
長さ |
44.5mm |
スキャナ＋fθレンズ用（アフォーカル）マルチフォーカスレンズ
仕様（foXXus_0-0.21_q） |
||
| fθレンズの焦点距離 | f=100mm | f=160mm |
|---|---|---|
ΔF（大気中） |
30um (トータル210)um |
77um (トータル538)um |
ΔF（ガラス） |
45um (トータル315)um |
115um (トータル805)um |
ΔF（サファイア） |
53um (トータル370)um |
135um (トータル945)um |
入射ビーム径 |
20mm |
|
NA |
0.1mm |
0.063 |
波長 |
_1064: 1020-1080nm _343_515: 335-365um, 510-540um ※その他波長も承ります |
|
2ω（1064nm） |
9.4um |
15um |
2ω（532nm） |
4.7um |
7.5um |
2ω（355nm） |
3.1um |
5.0um |
許容チルト |
±3° |
|
ワーキングディスタンス |
fθレンズによる |
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最大パルスエネルギー |
25mJ @ 5ns |
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マウント |
Cマウント（1"-32 UN 2A） |
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直径 |
48mm |
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長さ |
61mm |
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仕様（foXXus_0.5-1.5_q） |
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入射方向 |
正方向 |
逆方向 |
ΔF（大気中） |
2焦点： 0.5または1.5mm（f=100mm時） 2焦点： 1.9または6.1mm（f=200mm時） 4焦点： 0.5 - 0.5 - 0.5mm（f=100mm時） 4焦点： 2.1 - 1.9 - 2.1mm（f=200mm時） |
2焦点： 1または2.9mm（f=100mm時） 2焦点： 3.7または11.9mm（f=200mm時） 4焦点： 1 - 0.9 - 1mm（f=100mm時） 4焦点： 4 - 3.7 - 4.2mm（f=200mm時） |
倍率 |
1.41倍 |
0.71倍 |
クリアアパチャ |
入射14mm、出射20mm |
入射20mm、出射14mm |
波長 |
_1064： 1020-1100nm _532： 510-550nm _355： 340-370nm |
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許容チルト |
±3度 |
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ワーキングディスタンス |
使用するレンズのワーキングディスタンス |
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最大パルスエネルギー |
25mJ @ 5ns （推奨） |
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マウント |
M27 x 1 （入出射） |
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直径 |
48mm |
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長さ |
135mm |
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マルチフォーカスレンズによるガラス切断
