高ダメージ閾値UVレーザ用ミラー

UVレーザ用光学部品の問題点は、散乱損失と吸収損失です。これらは波長が短くなればなるほど大きくなり、紫外領域で高い反射率を確保するためには適切なプロセス管理が必要です。
フッ素コーティングの場合、表面のラフネスが大きく、散乱が発生します。これによりコーティングの劣化が早く訪れます。金属コートの場合、吸収が大きく熱によるダメージが発生します。
当社で提供するUVレーザ用光学部品は、IBSコーティングプロセスを最適化することにより実現した、UVレーザ用の低吸収と長寿命をお約束します。