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エキシマレーザ|株式会社プロフィテット

エキシマレーザ

エキシマレーザ

エキシマレーザ

 エキシマレーザは微細加工を始め薄膜生成、ファイバーブラッ

 ググレーティング作製、近視治療(レーシック)をはじめとする

 様々な医療用途、フォトルミネッセンスなど様々な用途で利用さ

 れています。

 当社ではArF(193nm)、KrF(248nm)、XeCl(308nm)、XeF

 (351nm)に対応した高性能なエキシマレーザをご提供します。

 

 

PLD20型エキシマレーザ

ガス種類

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長

193nm

248nm

308nm

351nm

最大パルスエネルギー

400mJ

500mJ

400mJ

250mJ

平均出力

6W

9W

6W

4W

最大繰返周波数

20Hz

安定度(σ)

3%

パルス幅(FWHM)

約25ns

ビームサイズ(V×H)

22×6mm

拡がり角(V×H)

3×1 mrad

重量

230kg

冷却

水冷

電源

220V/50Hz/14A/単層

寸法(L×W×H)

1000×450×660mm

 

PLD150型エキシマレーザ

ガス種類

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長

193nm

248nm

308nm

351nm

最大パルスエネルギー

150mJ

200mJ

150mJ

100mJ

平均出力

20W

25W

20W

15W

最大繰返周波数

150Hz

安定度(σ)

3%

パルス幅(FWHM)

約20ns

ビームサイズ(V×H)

14×5mm

拡がり角(V×H)

3×1 mrad

重量

200kg

冷却

水冷

電源

220V/50Hz/14A/単層

寸法(L×W×H)

1300×400×900mm

 

FBG200/200M型エキシマレーザ

ガス種類

ArF

KrF

XeCl

波長

193nm

248nm

308nm

最大パルスエネルギー

9mJ

14mJ

9mJ

平均出力

1.3W

2W

1.3W

最大繰返周波数

200Hz

安定度(σ)

2%

パルス幅(FWHM)

約15ns

ビームサイズ(V×H)

6×3mm

拡がり角(V×H)

3×1 .5mrad

重量

50kg

冷却

空冷

電源

220V/50Hz/3A/単層

寸法(L×W×H)

600×300×400mm

 

FBG200E型エキシマレーザ

ガス種類

ArF

KrF

XeCl

波長

193nm

248nm

308nm

最大パルスエネルギー

10mJ

18mJ

8mJ

平均出力

1.5W

3W

1.5W

最大繰返周波数

200Hz

安定度(σ)

2%

パルス幅(FWHM)

約15ns

ビームサイズ(V×H)

7×4mm

拡がり角(V×H)

3×1 .5mrad

重量

50kg

冷却

空冷

電源

220V/50Hz/3A/単層

寸法(L×W×H)

600×350×600mm

 

 

 

 


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