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フェムト秒レーザマイクロマシニング装置|株式会社プロフィテット

ラボ仕様フェムト秒レーザマイクロマシニング装置

ラボ仕様フェムト秒レーザマイクロマシニング装置

フェムト秒レーザマイクロマシニング装置

ラボユースのレーザマイクロマシニングワークステーションです。高精度のリニアポジショニングステーション、高性能ガルバノスキャナ、ユーザフレンドリのマイクロマシニングソフトウェアを備えたトータルソリューションです。
マイクロナノストラクチャリング、微細彫刻、微細穴あけ、リソグラフィ、屈折率モディフィケーション、選択的レイヤー除去、硬脆材料加工、導波路製作などに最適です。

 

 

 

 

 

 

 

特徴

 

アプリケーション

  • マイクロナノストラクチャリング
  • 微細彫刻
  • 微細穴あけ
  • リソグラフィ
  • 屈折率モディフィケーション
  • 選択的レイヤー除去加工
  • 硬脆材料加工
  • 導波路製作

 

  • 高速精密マイクロマシニング
  • ハイエンド産業グレードのフェムト秒レーザ
  • サブミクロン分解能
  • 低HAZ
  • サブミクロン精度の位置決め
  • ガルバノスキャナによる正確なスキャニング
  • 高いパラメータ自由度

 

 

 

仕様

パラメータ

パルス幅

200fs〜10ps

繰り返し

1kHz〜1MHz

平均出力

〜20W

パルスエネルギー

〜2mJ

波長

1030nm、515nm、343nm、258nm、206nm

位置精度

±250nm

駆動範囲

25 X 25mm〜300 X 300mm(ご希望により更に大きくできます)

 

 

製品構成

  • レーザ発振器
  • ワーク用ポジショニングシステム
  • ビームデリバリ+ガルバノスキャナ
  • レーザ出力、偏光コントローラ
  • ソフトウェア(オートフォーカス、マシンビジョンはオプション)
  • サンプルホルダ(サンプル自動ハンドリング装置はオプション)
  • 光学テーブル
  • エンクロージャ
  • 集塵機

 

 

加工写真

切断
スクライブ
穴あけ
マーキング
アブレーション
アディティブ加工

 

 

フェムト秒レーザによる切断

ポリマー切断
フェムト秒レーザによるポリマーの切断 

 ・ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート
 ・直線、曲線の自由形状切断
 ・HAZの最小化
 ・優れた切断面品質
 ・サブミクロンの形状精度
 ・高速レーザプロセス

1mm厚 強化ガラス切断
フェムト秒レーザによる強化ガラス切断 フェムト秒レーザによる強化ガラス切断 

 ・直線、曲線の自由形状切断
 ・0.3〜1.3mm厚のワークに対応
 ・10〜42umのDOL
 ・切断スピード:200mm/秒
 ・切断面粗さ:Ra<1um
 ・プロセス後に簡単にブレイク
 ・なめらかなエッジ
 ・目視可能なクラックなし

 

0.5mm厚 強化ガラス切断
フェムト秒レーザによる強化ガラス切断 フェムト秒レーザによる強化ガラス切断 

 ・直線、曲線の自由形状切断
 ・0.3〜1.3mm厚のワークに対応
 ・10〜80umのDOL
 ・切断スピード:200mm/秒
 ・切断面粗さ:Ra<1um
 ・プロセス後に簡単にブレイク
 ・なめらかなエッジ
 ・目視可能なクラックなし

 

ガラス切断
フェムト秒レーザによるガラス切断  フェムト秒レーザによるガラス切断 

フェムト秒レーザによるガラス切断 

フェムト秒レーザによるガラス切断  フェムト秒レーザによるガラス切断 

フェムト秒レーザによるガラス切断 

 ・直線、曲線の自由形状切断               上段左: 60um厚
 ・0.03〜1mm厚のワークに対応               上端中: 6um厚
 ・切断スピード200mm/秒                  上段右: 80um厚
 ・切断面粗さ:Ra<1um                    下段左: 80um厚
 ・プロセス後に簡単にブレイク               下段中: 400um厚
 ・なめらかなエッジ                      下段右: 400um厚
 ・目視可能なクラックなし

サファイアダイシング
フェムト秒レーザによるサファイアダイシング  フェムト秒レーザによるサファイアダイシング  フェムト秒レーザによるサファイアダイシング 

 ・直線、曲線の自由形状切断               左: 100um厚
 ・0.1〜0.76mm厚のワークに対応              中: 750um厚
 ・切断スピード200mm/秒                  右: 325um厚
 ・切断面粗さ:Ra<1um                    
 ・プロセス後に簡単にブレイク               
 ・なめらかなエッジ                      
 ・目視可能なクラックなし

 

フェムト秒レーザによるスクライビング

セラミックスのスクライブ
フェムト秒レーザによるセラミックスクライビング  フェムト秒レーザによるセラミックスクライビング 

 ・ゼロHAZ、溶融なし
 ・溝幅15um以下、溝深さ25um以上
 ・交差点のオーバーシュートなし
 ・40mmエリアにて0.5umの精度
 ・24時間の連続運転検査済み

フェムト秒レーザによるセラミックスクライビング

 

フェムト秒レーザによるセラミックスクライビング 

 

フェムト秒レーザによる穴あけ

ガラス、サファイア穴あけ
フェムト秒レーザによるガラス穴あけ  フェムト秒レーザによるサファイア穴あけ 

 ・テーパー、ストレート、逆テーパー
 ・テーパー角:3度以内
 ・アスペクト比: 8:1
 ・穴径: Φ30〜60um
 ・穴形状制御
 ・高品質穴あけ

 

 左: ガラス
 右: サファイア

金属穴あけ
フェムト秒レーザによる鉄薄板穴あけ  フェムト秒レーザによる燃料ノズル穴あけ 

 ・低HAZ、溶融なし
 ・微細な穴径
 ・テーパー角の制御
 ・穴形状制御

 

 左: 鉄薄板
 右: 燃料ノズル

 

フェムト秒レーザによるマーキング

様々な材料へのマーキング
フェムト秒レーザによる金属へのカラフルマーキング  フェムト秒レーザによる太陽電池へのマーキング 

 ・高いコントラスト
 ・高い耐久性
 ・カラフルマーキング
 ・微細マーキング
 ・クラックなし
 ・ゼロHAZ
 ・高いポジショニング精度

 

上段左: 金属へのカラフルマーキング
上段右: 太陽電池へのマーキング
下段左: 金属へのマーキング
下段右: ガラスへのマーキング

 

 

フェムト秒レーザによる金属へのマーキング  フェムト秒レーザによるガラスへのマーキング 
有機材料へのマーキング
フェムト秒レーザによる木へのマーキング  フェムト秒レーザによる髪の毛へのマーキング 

 ・高いコントラスト
 ・高い耐久性
 ・カラフルマーキング
 ・微細マーキング
 ・クラックなし
 ・ゼロHAZ
 ・高いポジショニング精度

 

 左: 木
 右: 髪の毛

 

透明材料への内部マーキング
フェムト秒レーザによるサファイアへの内部マーキング  フェムト秒レーザによるガラスへの内部マーキング 

 ・高いコントラスト
 ・高い耐久性
 ・カラフルマーキング
 ・微細マーキング
 ・クラックなし
 ・ゼロHAZ
 ・高いポジショニング精度

 

 上段左: サファイア
 上段右: ガラス
 下段左: 光ファイバ
 下段右: コンタクトレンズ

 

 

フェムト秒レーザによるファイバへの内部マーキング  フェムト秒レーザによるコンタクトレンズへの内部マーキング 

 

フェムト秒レーザによるアブレーション

金属へのアブレーション
フェムト秒レーザによるクロムのアブレーション  フェムト秒レーザによる金のアブレーション  フェムト秒レーザによるチタンのアブレーション 
フェムト秒レーザによるクロムのアブレーション   

 ・リソグラフィのマスク製作
 ・ビームシェーピングデバイス製作
 ・オプティカルアパチャ
 ・回折格子

 

上段左: ガラス基板からクロムを除去
上段中: MgO基盤から金を除去
上段右: チタンの除去
下段左: クロムの除去
下段中: 光学アパーチャ

硬い材料へのアブレーション
フェムト秒レーザによるPCDのアブレーション  フェムト秒レーザによるPCDのアブレーション  フェムト秒レーザによるサファイアのアブレーション 
フェムト秒レーザによるサファイアのアブレーション  フェムト秒レーザによるサファイアのアブレーション 

 ・高速加工
 ・ゼロHAZ
 ・高いポジショニング精度
 ・高い品質

 

上段左: ダイヤモンド焼結体(PCD)
上段中: ダイヤモンド焼結体(PCD)
上段右: サファイア
下段左: サファイア
下段右: サファイア

 

誘電レイヤーのアブレーション
フェムト秒レーザによる太陽電池のアブレーション  フェムト秒レーザによる太陽電池のアブレーション  フェムト秒レーザによる太陽電池のアブレーション 

 ・パルス周波数:100kHz
 ・平均パワー: 1.4W

 

左: 太陽電池の誘電レイヤーアブレーション
中: 太陽電池(SiNx)のアブレーション
右: 太陽電池の誘電レイヤーアブレーション

 

フェムト秒レーザによる3Dアディティブ加工

マイクロオプティクス
フェムト秒レーザによるアキシコンレンズ3D加工  フェムト秒レーザによる屈折・回折ハイブリッドオプティクス3D加工  フェムト秒レーザによるレンズ3D加工 
フェムト秒レーザによるプリズム3D加工  フェムト秒レーザによる位相板3D加工  フェムト秒レーザによる位相板3D加工 
フェムト秒レーザによるフレネルレンズ3D加工  フェムト秒レーザによる特殊形状アレイ3D加工  フェムト秒レーザによる複雑形状光学部品3D加工 
フェムト秒レーザによるレンズファイバ3D加工 

 

 ・分解能: 200nm〜10um
 ・様々なポリマ材料
 ・複雑な3D形状
 ・高い再現性
 ・自己ポリメリゼーションの制御

 

1段目左: アキシコンレンズ
1段目中: 屈折/回折ハイブリッドオプティクス
1段目右: レンズ
2段目左: プリズム
2段目中: スパイラル位相板
2段目右: セクション別位相板
3段目左: フレネルレンズ
3段目中: 複雑形状のアレイ
3段目右: ハイブリッド機能型複雑形状オプティクス
4段目j左: レンズファイバ

フリーフォーム
フェムト秒レーザによるフリーフォーム3D加工  フェムト秒レーザによる超小型猫形状3D加工  フェムト秒レーザによるフリーフォーム3D加工 
フェムト秒レーザによるフリーフォーム3D加工  フェムト秒レーザによるフリーフォーム3D加工  フェムト秒レーザによるフリーフォーム3D加工 

 

 ・分解能: 200nm〜10um
 ・様々なポリマ材料
 ・複雑な3D形状
 ・高い再現性
 ・自己ポリメリゼーションの制御

 

 上段左: フリーフォーム3次元形状
 上段中: 超ミニチュア猫
 上段右: 複雑3D形状
 下段左: 六角形3D形状
 下段中: フリーフォーム3D形状
 下段右: 幅90nm

 

 

 

 
 
 
 

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